ISLANDIJA, Niujorkas, 2025 m. spalio 2 d. – „Festo“ pademonstravo sujungtą puslaidininkių gamybos darbo eigą, daugiausia dėmesio skirdama kritiniam plokštelių tvarkymui ir apdorojimui. Naujausioje bendrovės taikomųjų programų demonstracijoje pabrėžiama, kaip novatoriški automatizavimo komponentai padidina plokštelių gamybos tikslumą, efektyvumą ir patikimumą.

Centrinis mazgas: Vaflių tvarkymas ir lygiavimas

„Festo“ naujos demonstracijos centre – centrinis mazgo modulis, kuris inicijuoja puslaidininkinių plokštelių judėjimą. Šis mazgas, aprūpintas apversto portalo sistema, yra ekonomiška alternatyva tradiciniams „SCARA“ robotams, skirtiems plokštelėms paimti ir perkelti. Portalas paima plokšteles iš priekyje atidaromų unifikuotų konteinerių (FOUP) – specializuotų transportavimo konteinerių – ir greitai bei tiksliai jas perkelia, užtikrindamas greitą ir patikimą perkėlimą iš saugyklos į gamybos linijas.

Portale yra unikalus plokštelių galinis efektorius, integruotas su plokštelių lygiavimo įrenginiu – revoliuciniu įrankiu, kuris sujungia plokštelių sugriebimą ir submikroninį lygiavimą viename kompaktiškame įrenginyje. Tai sumažina sistemos sudėtingumą ir užtikrina tikslų plokštelių padėties nustatymą prieš jas perkeliant į kitą proceso etapą.

Cheminis apdorojimas ir dengimas

Po centrinio apdorojimo plokštelės gali būti nukreipiamos į 1 modulį, kuriame imituojami šlapieji cheminiai procesai. Darbo eiga prasideda nuo FOUP valymo, naudojant „Festo“ masės srauto valdiklius (MFC), kad prieš plokštelių apšvitinimą būtų palaikoma aplinka be užteršimo.

Tada plokštelės pakraunamos į dengimo stotį, kur „Festo“ „atgalinio siurbimo“ sprendimas, sujungtas su elektrinėmis tiesinėmis ašimis, leidžia tiksliai judėti antgaliams plokštelių paviršiumi. Ši sistema užtikrina tolygų cheminių medžiagų nusodinimą, sumažina atliekas ir pagerina produkto kokybę.

Vakuuminis apdorojimas ir mikropozicionavimas

Arba plokštelės gali būti perkeltos į 2 modulį, kuriame demonstruojami vakuuminiai procesai, tokie kaip sausas ėsdinimas. Čia „Festo“ technologija valdo švelnų plyšinių ir sklendžių vožtuvų atidarymą ir uždarymą, užtikrindama sklandų plokštelių patekimą į vakuumines kameras.

Kameros viduje pneumatiniai kėlimo kaiščiai kruopščiai uždeda plokšteles ant griebtuvų. Demonstracijoje taip pat pristatoma pneumatinė mikropozicionavimo sistema, galinti uždėti fokusavimo žiedus mikronų tikslumu, demonstruojant tikslų valdymą, reikalingą pažangiai puslaidininkių gamybai.

Prijungtos inovacijos puslaidininkių meistriškumui

Ši tarpusavyje susijusi demonstracija pabrėžia, kaip „Festo“ komponentai – nuo ekonomiškų portalų iki integruotų lygiavimo įrenginių ir tikslių skysčių valdymo sistemų – veikia harmoningai, kad padidintų šiuolaikinės puslaidininkių gamybos našumą, tikslumą ir patikimumą.

„Festo“ atlieka pagrindinį vaidmenį puslaidininkių pramonėje, tiekdama svarbiausius komponentus ir sprendimus tiek pradiniams, tiek galutiniams procesams. Jos siūlomi produktai:

• Švelnus ir tikslus plokštelių apdorojimas
• Didelio efektyvumo azoto (N₂) valymo sistemos
• Su švariomis patalpomis suderinami komponentai
• Skaitmeninimas, dirbtiniu intelektu paremti procesai ir nuspėjamoji priežiūra
• Pirmaujančios pramonės šakoje mokymo ir darbo jėgos tobulinimo programos

Daugiau informacijos rasite „Festo“ puslaidininkių sprendimų puslapyje, esančiame išskleidžiamajame meniu „Sprendimai“, arba susisiekite su „Festo“ pardavimo atstovu ar platinimo partneriu.